有离子束溅射镀膜机、磁控溅射镀膜机、射频CVD镀膜机、电子束蒸发镀膜机、热蒸发镀膜机及新研制的CVD(类金刚石膜)沉积设备和CK-1300磁控溅射镀膜设备等,能制备可见光、红外、紫外等不同谱段的增透膜、减反射膜、滤光膜、分光膜、反射膜、金属膜、导电膜、硬碳膜及各种特殊薄膜。
ML电子束镀膜机
ZZSX-800E 真空镀膜机
H44112-1 型箱式真空镀膜机
FHL-500 型硬碳膜沉积设备